随着信息时代的推进, 半导体 行业正在迅猛发展,为社会带来了显著的经济效益和就业机会。然而,这一行业的快速发展也伴随着对大气的污染问题。由于半导体行业对操作室的清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,这使得半导体行业废气具有排放量大、排放浓度小的特点。 这些废气主要包括有机废气和酸碱废气两类。其中,有机废气包括非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱废气则包括氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。这些废气的来源主要是在芯片或线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中产生的。 这些废气不仅对环境造成污染,而且对人们的健康也构成威胁。在半导体制造过程中, 元器件 组装焊接、 电路板 等器件清洗等表面处理过程中使用的化学药剂,如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物,会挥发成为污染气体,如果这些气体超标排放,可能会导致人群慢性或急性中毒。 为应对这一问题,我们需要对废气进行实时精准的检测。一种解决方案是采用集成废气检测系统,它可以实时采集和检测废气的浓度等参数,一旦发现超标排放,...